Sistema de calibración automatizada FPG8601
Descripción general del producto: Sistema de calibración automatizada FPG8601
Principios de funcionamiento
Medición
EL FPG8601 funciona según el conocido principio del patrón de pistón, en el que la presión aplicada en la zona efectiva del pistón-cilindro se transforma en una fuerza proporcional. No obstante, en vez de equilibrarse contra las masas aceleradas por la gravedad, la fuerza resultante de la presión se mide mediante una celda de carga de la fuerza equilibrada que está acoplada al pistón. Dado que el pistón-cilindro cuenta con cámaras de presión a ambos extremos superior e inferior, se puede cambiar la presión de referencia en función de la cual se define la presión (atmósfera para modo manométrico, vacío para absoluto). Al colocar a cero la celda de carga con las cámaras alta y baja a una presión común, se destara la masa del pistón y cualquier otra fuerza que no se relacione con la presión medida, lo que permite que la medición de la presión empiece desde cero. El valor de la presión diferencial aplicada se calcula a partir del área efectiva del pistón-cilindro y el valor de la fuerza neta que mide la celda de carga.
Para evitar la inestabilidad y complejidad mecánica de centrar el pistón girándolo en el cilindro, el pistón FPG se centra mediante el flujo de una presión de gas lubricante independiente en la espacio del pistón-cilindro. El espacio es cónico y se estrecha de manera simétrica hacia las extremidades del pistón. El espacio del pistón-cilindro es de 1 a 6 μm y la presión lubricante es 40 kPa superior a la presión de referencia, lo que mantiene muy bajo el flujo hacia las cámaras de medición (menos de 1 sccm en total). La fuerza que atraviesa el pistón se transmite a la celda de carga a través de un sistema de acoplamiento cardánico que mantiene el pistón en su centro de gravedad. El conducto del sistema de conexión también se utiliza para suministrar el gas lubricante al pistón-cilindro. La celda de carga está sellada en una cámara hermética a través de la cual fluye el gas lubricante. El diseño de la cámara de la celda de carga contribuye a mantener su temperatura constante y el gas lubricante está condicionado para asegurar una humedad relativa.
Control
El controlador de presión FPG8601 funciona mediante el ajuste del flujo a través de una restricción de flujo. El lado de la corriente ascendente de la restricción está conectado a la cámara de presión FPG superior y el lado de la corriente descendiente está conectado a la cámara de presión FPG inferior y a la atmósfera o a una fuente independiente de vacío para el funcionamiento en modo absoluto. El controlador incluye varias restricciones de flujo de conductancias distintas y la más adecuada para el intervalo de presión se selecciona automáticamente. Dos controladores de flujo de masa (MFC), uno para el control de presión gruesa y otro, de intervalo inferior, para el control de presión fina, se utilizan en paralelo para ajustar el flujo en un bucle de realimentación. El control se basa en la diferencia entre el punto de ajuste de la presión y la medición de la presión FPG. Un regulador de presión de dos fases cuya segunda fase hace referencia al lado descendiente de las restricciones de flujo suministra una presión de entrada estable a los controladores de flujo de masa.
Funcionamiento automatizado
El FPG8601 incluye un controlador de sistema basado en Windows®. El controlador del sistema se comunica con el hardware de FPG8601 y los dispositivos bajo prueba. El software FPG Tools™ monitoriza y controla el funcionamiento FPG y admite una amplia gama de funciones de alto nivel, incluida su ejecución totalmente automatizada, secuencias de prueba sin supervisión con adquisición de datos del dispositivo bajo prueba. Todos los datos de FPG y de los dispositivos bajo prueba se graban en archivos de datos delimitados que se pueden descargar con facilidad a otras aplicaciones para su análisis. Algunas de las funciones del software FPG Tools incluyen:
- Cambios de modo de medición (manométrico/absoluto)
- Cero y amplitud automáticos de la celda de carga
- Ajuste del tiempo promedio del punto de datos
- Cambio excesivo en las alarmas de condiciones de funcionamiento
- Correcciones de transpiración térmica en absoluto bajo
- Configuración del dispositivo bajo prueba
- Definición y almacenamiento del procedimiento de prueba
- Ejecución de la prueba totalmente automatizada
- Representación gráfica del resultado de la prueba en tiempo real
Modos de medición manométrico, absoluto y diferencial absoluto
El FPG8601 admite tres modos de medición distintos:
- Modo manométrico: la cámara inferior del FPG y el lado “bajo” de la prueba se conectan entre sí y se dejan abiertos a la atmósfera.
- Modo absoluto: la cámara inferior del FPG se purga y se mide el vacío residual mediante un manómetro de vacío. Este modo se utiliza para calibrar los DUT sellados absolutos.
- Modo diferencial absoluto: la cámara inferior del FPG y el lado “bajo” de la prueba se conectan conectados entre sí y se purgan. Este modo se utiliza para calibrar DUT diferenciales relativos al vacío.
Sistema de banco sin requisitos de entorno especiales
El FPG8601 puede instalarse un banco de laboratorio de alta calidad y de 2 m (6 pies). El controlador de presión a menudo se instala debajo del banco. Se debe tener en cuenta la ubicación de las bombas de vacío al incluir la capacidad de presión absoluta. Podemos proporcionarle un banco de montaje personalizado con el sistema si así lo desea.
Los requisitos de entorno para el funcionamiento del FPG8601 son aquellos que se encuentran generalmente en un laboratorio de metrología de alto nivel.
Servicio de instalación y capacitación
Se recomienda que dedique de tres a cinco días al servicio de instalación y capacitación al instalar un FPG8601 nuevo. Este servicio engloba la configuración y evaluación del sistema del FPG8601 y también la capacitación de los usuarios encargados del funcionamiento y el mantenimiento, incluidas las pruebas de ejecución típicas. La capacitación puede realizarse en las instalaciones de Fluke Calibration en Phoenix, Arizona antes de la entrega y/o en el lugar de instalación tras la entrega.
Especificaciones: Sistema de calibración automatizada FPG8601
General | |
Requisitos de alimentación | FPG8601 85 a 264 V CA, 50/60 Hz, 60 VA máx. VLPC 85 a 264 V CA, 50/60 Hz, 70 VA máx. |
Intervalo de temperatura de funcionamiento normal | De 20 a 26 °C |
Estabilidad de temperatura ambiente | 0,1 °C/minuto de tasa máx. |
Peso | Plataforma FPG8601 30 kg (66 lb) Terminal FPG8601 2 kg (4,4 lb) Controlador de presión VLPC 41 kg (90,4 lb) |
Dimensiones | Plataforma FPG8601 (A x L x P) 53 x 36 x 35 cm (21 x 14 x 14 pulg.) Terminal FPG8601 (A x L x P) 12 x 15 x 20 cm (4,7 x 6 x 8 pulg.) Controlador de presión VLPC (A x L x P) 31 x 51 x 53 cm (12,2 x 20 x 21 |
Controlador del sistema | Funciona con FPG Tools™, sistema operativo Windows®, interfaces RS232 y IEEE-488 para la adquisición de datos del FPG y los DUT |
Intervalo de presión global | Modo manométrico, absoluto, diferencial absoluto de 0 a 15 kPa |
Medio de prueba | N2 o aire |
Tiempo de cambio de modo | 30 minutos de absoluto a manométrico 1 hora de manométrico a absoluto |
Vibración | Igual que un patrón de pistón convencional, las bombas de vacío se deben conectar con mangueras flexibles |
Fuentes de presión | Gas de lubricación del pistón-cilindro (FPG8601): 700 a 800 kPa, N2 limpio y seco o aire Vacío de referencia FPG (para modos absolutos): bomba turbo: 378 m³/hora típica, presión final de 8,10 - 6 Pa Bomba de paletas rotativas: 16,5 m³/hora, presión final de 0,2 Pa Fuente de VLPC: 700 a 800 kPa, N2 limpio y seco Vacío de VLPC: 10 m³/hora a 0,5 Pa Aire de dirección (FPG8601 y VLPC): aire de taller de 400 a 700 kPa |
Conexiones de presión | Prueba de presión alta (FPG8601): KF16 Prueba de presión baja (FPG8601): KF16 Ref. de vacío (FPG8601): KF25 Vacío (FPG8601): 1/8 pulg. NPT F Dirección/lubricación (FPG8601): 1/8 pulg. NPT F Fuente (VLPC): 1/8 pulg. NPT F Dirección (VLPC): 1/8 pulg. NPT F Vacío (VLPC): KF25 |
Medición de la presión | |
Intervalo global | Modo manométrico, absoluto, diferencial absoluto de 0 a 15 kPa |
Efecto de la temperatura | La temperatura del instrumento se controla y se proporciona la alarma cuando la tasa y/o la magnitud del cambio de temperatura importan para el rendimiento |
Resolución | Estándar: 0,010 Pa Opción de alta resolución: 0,001 Pa |
Incertidumbre de la medición de presión típica | Estándar: modos manométrico, diferencial absoluto: ±(0,020 Pa + 30 ppm de la lectura) Modo absoluto: ±(0,025 Pa + 30 ppm de la lectura) Opción de alta resolución: modos manométrico, diferencial absoluto: ±(0,005 Pa + 30 ppm de la lectura) Modo absoluto: ±(0,008 Pa + 30 ppm de la lectura) |
Vacío residual típico en modo absoluto | Con bomba turbomolecular: 0,04 a 0,1 Pa Con bomba de paletas rotativas: 0,3 a 0,4 Pa |
Control de presión | |
Intervalos de presión (Pa) | Modo manométrico: 5 intervalos de control solapados Presión mínima: 0 Presión mínima controlada: 0,1 Pa Modo absoluto: 5 intervalos de control solapados Presión mínima: 0,4 a 1 Pa Presión mínima controlada: 2 Pa |
Precisión de control | Estándar: Modo manométrico: ±(0,020 Pa + 100 ppm del intervalo) Modos absolutos: ±(0,020 Pa + 30 ppm del intervalo) Opción de alta resolución: Modo manométrico: ±(0,005 Pa + 60 ppm del intervalo) Modos absolutos: ±(0,020 Pa + 30 ppm del intervalo) Nota: la precisión de control corresponde al peor de los casos. La constante del modo absoluto es menor en intervalos más bajos. |
Volumen de prueba nominal | Modo manométrico: Hasta 20 cm³/lado (alto y bajo) Modo absoluto: Hasta 500 cm³/lado (alto y bajo) |
Tiempo de ajuste de presión típico | De 1 a 2 minutos, según el volumen de prueba |
Pistón-cilindro | |
Tamaño nominal | Diámetro: 35 mm Área: 10 cm² |
Material del pistón | Carburo de tungsteno |
Material del cilindro | Carburo de tungsteno |
Sistema de montaje | No giratorio, autoajustable mediante presión lubricante independiente suministrada de manera central |
Espacio del pistón-cilindro | Espacio cónico simétrico con conicidad dual de 6 micrones en un punto de lubricación central a 1 micrón en los extremos del cilindro |
Calidad del gas lubricante | N2 limpio y seco o aire, acondicionamiento a bordo del 40 al 70% HR |
Presión de gas lubricante | Modo manométrico: 40 kPa manométrico Modo absoluto: 40 kPa absoluto Flujo de gas lubricante: <1 scmm en total a las cámaras alta y baja |
Medición secundaria | |
Temperatura del pistón-cilindro (°C) | Intervalo: de 0 a 40 Resolución: 0,01 Incertidumbre: ±0,1 |
Vacío residual (Pa) | Intervalo: de 0 a 13 Resolución: 0,001 Incertidumbre: ±(0,5% de la lectura + 5 mPa) |
Medición de control | |
Temperatura del gas de lubricación (°C) | Intervalo: de d0 a 40 Resolución: 0,1 Incertidumbre: ±0,2 |
Presión del gas de lubricación (kPa) | Intervalo: de 0 a 200 absoluto Resolución: 0,001 Incertidumbre: ±0,1 |
Humedad del gas de lubricación (%HR) | Intervalo: de 5 a 95 Resolución: 1 Incertidumbre: ±10 |
Modelos: Sistema de calibración automatizada FPG8601
- Plataforma FPG8601
- Terminal FPG8000
- Función de funcionamiento de modo de manómetro de cilindro de pistón de 10 kPa/kg FPG8601
- Resolución estándar (10 mPa)
- Controlador de presión VLPC
- Interconexiones entre VLPC y plataforma FPG8601
- Controlador del sistema con software del sistema, dos (2) puertos e IEEE-488
- Herramienta de inserción de pistón
- Manual de instrucciones y mantenimiento
- Informe de calibración acreditada A2LA